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CFC 流量控制器CORDIS CFC 流量控制器（MFC）Cordis 系列流量控制器（MFC）不同于压力控制器，是一个气体流量控制产品，适用于各种非腐蚀性气体，体积小巧，结构紧凑，采用MEMS流量传感器，具有响应速度快，预热时间短等优势。可附加DR-2精密减压阀，以保证流量和压力的稳定控制，将上游压力波动的干扰降低到最小。 Cordis内建PLC 与MEMS流量传感器，与DVP/EVP比例阀组成闭环，当接收到流量增加的命令时，比例阀打开或者加大开度，通过内建的算法程序快速将流量提高到设定值，当需要减小流量时，比例阀减小开度以实现流量调节。 
产品说明
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